公开/公告号US2017092473A1
专利类型
公开/公告日2017-03-30
原文格式PDF
申请/专利号US201514867442
发明设计人 WILLIAM DAVIS LEE;KEVIN ANGLIN;PETER KURUNCZI;RYAN DOWNEY;JAY T. SCHEUER;ALEXANDRE LIKHANSKII;
申请日2015-09-28
分类号H01J37/32;H01L21/265;H01L21/67;H01J37/317;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:46:56