公开/公告号US9502522B1
专利类型
公开/公告日2016-11-22
原文格式PDF
申请/专利号US201615056673
申请日2016-02-29
分类号H01L29/872;H01L29/66;H01L21/304;H01L29/47;H01L21/225;H01L21/78;H01L21/306;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/66;H01L29/861;H01L21/302;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:41:41