公开/公告号US9589851B2
专利类型
公开/公告日2017-03-07
原文格式PDF
申请/专利权人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;GLOBALFOUNDRIES INC.;THE RESEARCH FOUNDATION FOR THE STATE UNIVERSITY OF NEW YORK;
申请/专利号US201514800970
申请日2015-07-16
分类号H01L23/532;H01L23/528;H01L27/092;H01L21/8238;H01L23/535;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:41:32