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WLP WAFER LEVEL PACKAGE WLP AND METHOD FOR FORMING THE SAME

机译:WLP晶圆级包装WLP及其形成方法

摘要

Provided are a semiconductor device structure and a method for forming the same. The semiconductor device structure comprises a substrate and a conductive pad formed on the substrate. The semiconductor device structure comprises a protection layer formed over the conductive pad and a post-passivation interconnect (PPI) structure formed at least in the protection layer. The PPI structure is electrically connected to the conductive pad. The semiconductor device structure also comprises a first moisture-resistant layer formed over the protection layer, and the protection layer and the first moisture-resistant layer are made of different materials. The semiconductor device structure further includes an under bump metallurgy (UBM) layer formed over the first moisture-resistant layer and connected to the PPI structure.
机译:提供一种半导体器件结构及其形成方法。半导体器件结构包括衬底和形成在衬底上的导电焊盘。半导体器件结构包括形成在导电焊盘上方的保护层和至少形成在保护层中的钝化后互连(PPI)结构。 PPI结构电连接到导电垫。半导体器件结构还包括形成在保护层上方的第一防潮层,并且保护层和第一防潮层由不同的材料制成。半导体器件结构还包括形成在第一防潮层之上并连接到PPI结构的凸块下金属(UBM)层。

著录项

  • 公开/公告号KR20170010708A

    专利类型

  • 公开/公告日2017-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO. LTD.;

    申请/专利号KR20150164123

  • 发明设计人 JENG SHIN PUU;LIU HSIEN WEN;

    申请日2015-11-23

  • 分类号H01L25/07;H01L23/31;H01L23/495;H01L23/498;H01L23/525;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 13:28:14

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