首页> 外国专利> Method for making functional optical fiber tips using maskless fabrication

Method for making functional optical fiber tips using maskless fabrication

机译:使用无掩模制造的功能性光纤尖端的制造方法

摘要

The present invention relates to a method of fabricating a micropattern-integrated optical fiber element using a maskless lithography system, and an object of the present invention is to provide a maskless lithography system capable of fabricating various shapes of fine patterns desired by a user on an optical fiber cross-Patterned optical fiber element using the same.;
机译:本发明涉及一种使用无掩模光刻系统制造集成有微图案的光纤元件的方法,并且本发明的目的是提供一种无掩模光刻系统,其能够制造用户期望的各种形状的精细图案。光纤交叉使用相同的光纤元件。

著录项

  • 公开/公告号KR101729582B1

    专利类型

  • 公开/公告日2017-04-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 한국과학기술원;

    申请/专利号KR20150099153

  • 发明设计人 정기훈;김재범;

    申请日2015-07-13

  • 分类号G02B6/02;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 13:25:40

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号