公开/公告号EP2316253B1
专利类型
公开/公告日2018-05-23
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号EP20090806941
发明设计人 DHINDSA RAJINDER;
申请日2009-08-06
分类号H05H1/34;H01L21/3065;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/265;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 13:19:24