机译:复合材料,树脂,光刻技术的成膜材料,光刻技术的底层成膜材料,光刻技术,形成抗蚀剂的方法,电路图案的形成方法以及纯化化合物或树脂的方法
公开/公告号EP3257835A4
专利类型
公开/公告日2018-10-03
原文格式PDF
申请/专利号EP20160749322
申请日2016-02-12
分类号C07C43/235;C07C41/38;C07C43/205;C07C43/275;C08G8;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/20;G03F7/26;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 13:18:56