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Vibration reduction apparatus, lithography apparatus, and article manufacturing method

机译:减振装置,光刻装置及物品的制造方法

摘要

The present invention provides a vibration reduction apparatus which reduces vibration of a first object supported on a base, the apparatus comprising a driving unit arranged between the base and the first object and configured to drive the first object, a reference system including a second object, and a control system including a detector configured to detect a relative distance between the first object and the second object, a compensator configured to control the driving unit such that the relative distance comes close to a target distance, and a high-pass filter configured to attenuate a signal in a predetermined frequency band in a path extending from the detector to the driving unit.
机译:本发明提供了一种减振设备,该减振设备减小了支撑在基座上的第一物体的振动,该设备包括:驱动单元,该驱动单元布置在基座和第一物体之间,并且被配置为驱动第一物体;参考系统,包括第二物体;一种控制系统,包括:检测器,被配置为检测第一物体和第二物体之间的相对距离;补偿器,被配置为控制驱动单元,使得该相对距离接近目标距离;以及高通滤波器,被配置为从检测器到驱动单元的路径中的预定频带中的信号衰减。

著录项

  • 公开/公告号JP6278676B2

    专利类型

  • 公开/公告日2018-02-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 キヤノン株式会社;

    申请/专利号JP20130248342

  • 发明设计人 縄田 亮;

    申请日2013-11-29

  • 分类号F16F15/02;F16F15/04;H01L21/027;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 13:08:20

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