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Electron gun, three-dimensional layered modeling apparatus and electron gun control method

机译:电子枪,三维分层建模装置和电子枪控制方法

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent occurrence of an electron beam of an unintentional large current.SOLUTION: An electron gun 10 includes a cathode 11, a Wehnelt electrode 12, a control electrode 13, an anode 14, and a control part 25. The control part 25 controls an output value and output timing of a bias voltage to be changed by a bias supply 22, and an output value and output timing of a control voltage to be changed by a control electrode supply 23 so that a beam current generated by an electron beam B1 to be emitted toward a powder sample 8 reaches a set current value.
机译:解决的问题:为了防止出现意外的大电流电子束。解决方案:电子枪10包括阴极11,韦氏电极12,控制电极13,阳极14和控制部件25。控制部25控制由偏置电源22改变的偏置电压的输出值和输出定时,以及由控制电极电源23改变的控制电压的输出值和输出定时,以使得由向粉末样品8发射的电子束B1达到设定电流值。

著录项

  • 公开/公告号JP6246647B2

    专利类型

  • 公开/公告日2017-12-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日本電子株式会社;

    申请/专利号JP20140071223

  • 发明设计人 佐藤 崇;

    申请日2014-03-31

  • 分类号H01J37/04;H01J37/065;H01J37/248;H01J37/30;H01J37/06;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 13:08:10

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