公开/公告号US2018292745A1
专利类型
公开/公告日2018-10-11
原文格式PDF
申请/专利权人 EXOGENESIS CORPORATION;
申请/专利号US201816008573
申请日2018-06-14
分类号G03F1/80;H01L21/265;G03F1/82;H01J37/05;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/02;H05H3/02;H01L21/311;B24B37/04;H01L29/36;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:03:03