公开/公告号US10670960B2
专利类型
公开/公告日2020-06-02
原文格式PDF
申请/专利权人 EXOGENESIS CORPORATION;
申请/专利号US201816008573
申请日2018-06-14
分类号H01J37;G03F1/80;H01J37/317;H01L21/311;H01L21/265;H01L21/02;G03F1/82;H05H3/02;H01J37/147;H01J37/05;H01J37/32;H01L29/36;B24B37/04;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:28:23