公开/公告号US2017330782A1
专利类型
公开/公告日2017-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201615153936
发明设计人 PETER MOLL;MARTIN SCHMIDT;CARSTEN HARTIG;MATTHIAS RUHM;STEFAN THIERBACH;STEFAN RONGEN;DANIEL FISCHER;ANDREAS SCHURING;GUIDO ÜBERREITER;
申请日2016-05-13
分类号H01L21/68;H01L23/544;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:02:40