公开/公告号US9977329B2
专利类型
公开/公告日2018-05-22
原文格式PDF
申请/专利权人 TORAY INDUSTRIES INC.;
申请/专利号US201515113119
申请日2015-01-21
分类号G03F7/028;G03F7/075;G02B5/20;G03F7/027;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;H01L27/146;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:58:21