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Processing of a direct-bandgap chip after bonding to a silicon photonic device

机译:绑定到硅光子器件后直接带隙芯片的处理

摘要

A method for fabricating a photonic composite device for splitting functionality across materials comprises providing a composite device having a platform and a chip bonded in the platform. The chip is processed comprising patterning, etching, deposition, and/or other processing steps while the chip is bonded to the platform. The chip is used as a gain medium and the platform is at least partially made of silicon.
机译:一种用于制造用于在材料之间划分功能的光子复合器件的方法,包括提供具有平台和结合在平台中的芯片的复合器件。当芯片被结合到平台时,芯片被处理包括图案化,蚀刻,沉积和/或其他处理步骤。该芯片用作增益介质,平台至少部分由硅制成。

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