公开/公告号US9875936B1
专利类型
公开/公告日2018-01-23
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201615348109
申请日2016-11-10
分类号H01L29/66;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;H01L29/04;H01L29/06;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L21/762;H01L21/3105;H01L27/088;H01L27/092;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:56:02