公开/公告号US9875974B2
专利类型
公开/公告日2018-01-23
原文格式PDF
申请/专利号US201414772354
申请日2014-03-06
分类号H01L21;H01L23;H01L21/8238;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/56;H01L21/683;H01L21/768;H01L21/78;H01L21/84;H01L23/532;H01L25/065;H01L25/16;H01L25;G01N27/22;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:56:02