公开/公告号US9881774B2
专利类型
公开/公告日2018-01-30
原文格式PDF
申请/专利权人 JESSE A. FRANTZ;JASBINDER S. SANGHERA;ROBEL Y. BEKELE;VINH Q. NGUYEN;ISHWAR D. AGGARWAL;ALLAN J. BRUCE;MICHAEL CYRUS;SERGEY V. FROLOV;
申请/专利号US201414549778
发明设计人 JESSE A. FRANTZ;JASBINDER S. SANGHERA;ROBEL Y. BEKELE;VINH Q. NGUYEN;ISHWAR D. AGGARWAL;ALLAN J. BRUCE;MICHAEL CYRUS;SERGEY V. FROLOV;
申请日2014-11-21
分类号H01J37/34;C23C14/34;C23C14/08;C23C14/06;H01L21/02;H01L31/0368;H01L31/0392;H01L31/18;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:55:01