公开/公告号WO2018031193A1
专利类型
公开/公告日2018-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2017US42386
发明设计人 OGISO HIROYUKI;PRABHAKAR VINAY;ZHOU JIANHUA;SU ZONGHUI;ROCHA-ALVAREZ JUAN CARLOS;LEE JEONGMIN;NARASIMHA KARTHIK THIMMAVAJJULA;GILBERT RICK;PARK SANG HEON;KHAJA ABDUL AZIZ;
申请日2017-07-17
分类号H01L21/66;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 12:45:45