公开/公告号WO2018102492A1
专利类型
公开/公告日2018-06-07
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2017US63844
发明设计人 RASHEED MUHAMMAD M.;MUSTAFA MUHANNAD;TAVASSOLI HAMID;SANSONI STEVEN V.;TSAI CHENG-HSIUNG;BANTHIA VIKASH;
申请日2017-11-30
分类号H01L21/67;H01L21/687;H01L21/683;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 12:43:54