公开/公告号JP6516738B2
专利类型
公开/公告日2019-05-22
原文格式PDF
申请/专利号JP20160525814
发明设计人 橋本 忠朗;
申请日2014-07-11
分类号H01L29/872;H01L21/205;H01L21/28;H01L29/47;H01L29/861;H01L29/868;H01L21/331;H01L29/737;H01L29/20;H01L21/329;H01L21/20;H01L21/338;H01L29/812;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 12:20:30