公开/公告号US10444628B2
专利类型
公开/公告日2019-10-15
原文格式PDF
申请/专利权人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号US201615371815
申请日2016-12-07
分类号G03F7/11;G03F7/039;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/30;C07C49/653;C07C49/683;H01L21/311;H01L21/033;C07D311/92;C07C39/23;C07C43/215;C07C43/285;H01L21/30;H01L21/027;G03F7/09;C09D5;G03F1/32;G03F7/004;G03F7/32;H01L21/308;G03F7/075;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:16:44