公开/公告号US10429735B2
专利类型
公开/公告日2019-10-01
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO OHKA KOGYO CO. LTD.;
申请/专利号US201715724591
发明设计人 RYOJI WATANABE;
申请日2017-10-04
分类号G03F7/11;C08L71/02;C08F8/14;G03F7;G03F7/40;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/311;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:15:58