公开/公告号US10269562B2
专利类型
公开/公告日2019-04-23
原文格式PDF
申请/专利权人 PHILIPPS-UNIVERSITÄT MARBURG;
申请/专利号US201515511911
发明设计人 CARSTEN VON HAENISCH;KERSTIN VOLZ;WOLFGANG STOLZ;EDUARD STERZER;ANDREAS BEYER;DOMINIK KEIPER;BENJAMIN RINGLER;
申请日2015-09-25
分类号H01L21/02;C07F9/90;C07F9/46;C07F9/50;C07F9/72;C23C16/30;C23C16/22;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:14:15