公开/公告号US10276700B2
专利类型
公开/公告日2019-04-30
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201815897820
申请日2018-02-15
分类号H01L29/735;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/06;H01L27/06;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L29/417;H01L29/423;H01L27/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:13:01