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Method to fabricate quantum dot field-effect transistors without bias-stress effect

机译:无偏应力效应的量子点场效应晶体管的制造方法

摘要

Disclosed herein are embodiments of a method to form quantum dot field-effect transistors (QD FETs) having little to no bias-stress effect. Bias-stress effect can be reduced or eliminated through, as an example, the use of a gas or liquid to remove ligands and/or reduce charge trapping on the QD FETs, followed by deposition of an inorganic or organic matrix around the QDs in the FET.
机译:本文公开了形成具有很小或没有偏应力效应的量子点场效应晶体管(QD FET)的方法的实施例。例如,可以通过使用气体或液体来去除配体和/或减少QD FET上的电荷俘获,然后在QD中在QD周围沉积无机或有机基质,来减少或消除偏应力效应。场效应管

著录项

  • 公开/公告号US10224422B2

    专利类型

  • 公开/公告日2019-03-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA;

    申请/专利号US201514973522

  • 发明设计人 MATT LAW;JASON TOLENTINO;

    申请日2015-12-17

  • 分类号H01L29/12;H01L29/15;H01L29/66;H01L29/778;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 12:09:22

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