公开/公告号US10197914B2
专利类型
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号US201715432127
申请日2017-02-14
分类号G03F7/075;G03F7/039;H01L21/027;C08L83/14;C08G77/12;C07C39/21;C08G77/52;G03F7/20;C09D183/14;H01L21/311;C08G77/04;C08G77/06;G03F7/004;G03F7/11;G03F7/16;G03F7/32;G03F7/38;G03F7/40;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:08:56