公开/公告号EP3214497B1
专利类型
公开/公告日2019-08-07
原文格式PDF
申请/专利权人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号EP20170000284
申请日2017-02-22
分类号G03F7/075;G03F7/40;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/11;G03F7/32;G03F7/38;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/311;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 12:30:39