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PREPARATION METHOD FOR MOTH EYE MICROSTRUCTURE, ANTI-REFLECTION SUBSTRATE AND ELECTRONIC PRODUCT

机译:蛾眼微结构,抗反射基质和电子产品的制备方法

摘要

A preparation method for a moth eye microstructure (207), an anti-reflection substrate and an electronic product, relating to the field of display technology. The method comprises: providing a base layer (201); forming a metal film layer (202) on the base layer; etching the metal film layer (202) to obtain an anti-reflection moth eye microstructure pattern (206); and oxidizing the metal film layer(202) to further form the anti-reflection moth eye microstructure (207) on the base layer (201). According to the method, an ideal microstructure morphology and depth-to-width ratio can be obtained through etching, and the moth eye microstructure (207) with high depth-to-width ratio can be prepared.
机译:蛾眼微结构(207),抗反射基板和电子产品的制备方法,涉及显示技术领域。该方法包括:提供基础层(201);以及在基层上形成金属膜层(202);蚀刻金属膜层(202)以获得防反射蛾眼微观结构图案(206);氧化金属膜层(202),进一步在基层(201)上形成防反射蛾眼微结构(207)。根据该方法,可以通过蚀刻获得理想的微观结构形态和深宽比,并且可以制备具有高深宽比的蛾眼微结构(207)。

著录项

  • 公开/公告号WO2018218720A1

    专利类型

  • 公开/公告日2018-12-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利号WO2017CN90497

  • 发明设计人 YANG YONG;

    申请日2017-06-28

  • 分类号G02B1/118;H01L33;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 11:57:54

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