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目录
第一章 绪 论
1.1 研究目的及意义
1.2 仿生蛾眼微纳结构的研究现状
1.3 本论文主要研究内容
第二章 亚波长微结构衍射光学分析方法
2.1 亚波长微结构的模拟方法概述
2.2 严格模式分析方法
2.3 严格耦合波分析方法(RCWA)
2.4 本章小结
第三章 蛾眼微纳结构参数与性能关系研究
3.1 高级次衍射波倏逝条件
3.2 一维光栅偏振效应分析
3.3 二维亚波长微结构的偏振特性
3.4 本章小结
第四章 仿生“蛾眼”微纳结构阵列的设计与仿真
4.1 圆柱形抗反射微纳结构研究
4.2 圆孔形抗反射微纳结构研究
4.3 圆锥形抗反射微纳结构研究
4.4 抛物面形抗反射微纳结构研究
4.5 高斯面形抗反射微纳结构研究
4.6 本章小结
第五章 仿生蛾眼抗反射微纳结构的制作与测试
5.1 光刻技术制作抗反射微纳结构阵列
5.2 化学沉银技术制作随机排布的蛾眼微纳结构
5.3 湿法刻蚀技术制作蛾眼微结构
5.4 本章小结
第六章 结论与展望
6.1 工作总结
6.2 创新性工作
6.3 展 望
致谢
参考文献
攻读博士学位期间取得的学术研究成果