公开/公告号WO2019067315A1
专利类型
公开/公告日2019-04-04
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2018US52127
发明设计人 ARNEPALLI RANGA RAO;NEIKIRK COLIN COSTANO;MELNIK YURIY;SETH SURESH CHAND;NARWANKAR PRAVIN K.;CHATTERJEE SUKTI;SCUDDER LANCE A.;
申请日2018-09-21
分类号C23C16/40;C23C16/455;C23C16/56;C23C16/01;C12Q1/6869;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:55:22