Beschichtete Substrate und Verfahren zu deren Herstellung

摘要

Beschichtetes Substrat, das ein Substrat und eine Beschichtung umfasst, wobei die Beschichtung mindestens eine aus entweder MT-CVD Titanoxycarbonitrid oder MT-CVD Titanaluminiumoxycarbonitrid bestehende Schicht umfasst, wobei die Schicht ein Atomprozentsatz Sauerstoff zu Titan im Bereich von 0,01 bis 0,09, einen Atomprozentsatz Aluminium zu Titan im Bereich von 0 bis 0,1 und die Beschichtung ein Verhältnis der Härte in GPa zum Elastizitätsmodul in GPa von mindestens 0,06 aufweist.