公开/公告号JP6635581B2
专利类型
公开/公告日2020-01-29
原文格式PDF
申请/专利权人 国立研究開発法人物質・材料研究機構;
申请/专利号JP20150184746
发明设计人 森 孝雄;アタ ウラ カーン;
申请日2015-09-18
分类号H01L35/18;H01L35/34;C01B33/06;C22C12;C22F1/16;C22C1/04;C22C1/08;B22F3/10;B22F3/24;C22F1;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 11:32:46