公开/公告号US10781104B2
专利类型
公开/公告日2020-09-22
原文格式PDF
申请/专利权人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号US201515534652
申请日2015-12-16
分类号C01B32/184;C01B32/956;H01L21/265;H01L29/06;B32B15/04;H01L21/02;B32B9;C01B32/05;B32B9/04;B32B37/18;B32B38;C30B29/36;H01L29/16;H01L29/34;B82Y30;B82Y40;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:30:34