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Mechanisms for forming metal-insulator-metal (MIM) capacitor structure

机译:形成金属-绝缘体-金属(MIM)电容器结构的机制

摘要

A metal-insulator-metal (MIM) capacitor structure is provided. The MIM capacitor structure includes a first conductive layer formed over a substrate, and the first conductive layer includes a first portion and a second portion. The MIM capacitor structure also includes an insulating layer formed over the first portion of the first conductive layer and a second conductive layer formed over the first conductive layer. The second conductive layer includes a first portion and a second portion, the first portion of the second conductive layer is in direct contact with the insulating layer, and the second portion of the second conductive layer is in direct contact with the second portion of the first conductive layer.
机译:提供一种金属-绝缘体-金属(MIM)电容器结构。 MIM电容器结构包括形成在衬底上方的第一导电层,并且第一导电层包括第一部分和第二部分。 MIM电容器结构还包括形成在第一导电层的第一部分上方的绝缘层和形成在第一导电层上方的第二导电层。第二导电层包括第一部分和第二部分,第二导电层的第一部分与绝缘层直接接触,并且第二导电层的第二部分与第一导电层的第二部分直接接触。导电层。

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