公开/公告号US10564263B2
专利类型
公开/公告日2020-02-18
原文格式PDF
申请/专利号US201816019691
申请日2018-06-27
分类号G01S7/491;G02B6/27;G02B6/42;G01S17/02;G01S7/481;G01S7/4911;G01S17/58;G01S17/93;H01L23/544;H01L31/0232;H01L31/16;G01S17;G01S17/32;G01S7/4914;G01S7/497;B81B7/02;G02B27/30;H01S5/125;G01S7/4913;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:30:01