公开/公告号US10534266B2
专利类型
公开/公告日2020-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号US201715445738
申请日2017-02-28
分类号G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/09;G03F7/30;G03F7/26;G03F7/38;G03F7/11;H01L21/027;G03F7/004;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:28:49