公开/公告号WO2019240942A1
专利类型
公开/公告日2019-12-19
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号USUS2019/034235
发明设计人 PARIMI VENKATA SHARAT CHANDRA;JIANG ZHIJUN;BALASUBRAMANIAN GANESH;SHAH VIVEK BHARAT;SRIVASTAVA SHAILENDRA;BANSAL AMIT KUMAR;HAN XINHAI;PRABHAKAR VINAY K.;
申请日2019-05-29
分类号H01L21/67;H01L21/02;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:14:11