公开/公告号WO2020018701A1
专利类型
公开/公告日2020-01-23
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号WO2019US42255
发明设计人 YANAGAWA TAKUMI;DOLE NIKHIL;BHOWMICK RANADEEP;HUDSON ERIC;KOZAKEVICH FELIX LEIB;HOLLAND JOHN;MARAKHTANOV ALEXEI;LYNDAKER BRADFORD J.;
申请日2019-07-17
分类号H01J37/32;H01L21/311;H01L21/3065;H01L21/3213;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:13:46