公开/公告号WO2020160029A1
专利类型
公开/公告日2020-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号WO2020US15464
发明设计人 BOWES MICHAEL;BASU ATASHI;SAWLANI KAPIL;LI DONGYAO;CHANDRASHEKAR ANAND;FRIED DAVID M.;DANEK MICHAL;
申请日2020-01-28
分类号H01L21/67;H01L21/768;G06F30/20;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:09:54