公开/公告号US10977405B2
专利类型
公开/公告日2021-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201916260870
发明设计人 MICHAEL BOWES;ATASHI BASU;KAPIL SAWLANI;DONGYAO LI;ANAND CHANDRASHEKAR;DAVID M. FRIED;MICHAL DANEK;
申请日2019-01-29
分类号G06F17/50;G06F30/39;H01L21/768;G06F30/33;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:10:58