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多根多晶硅棒的取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件

摘要

本发明涉及一种光伏和半导体技术领域的多晶硅棒生产结束后的转移取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件,特别是涉及一种一次能取出多根多晶硅棒的取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件,面对分布在同轴的多个圆环上的多根多晶硅棒,先一次性取分布在最外圈圆环上的多晶硅棒,再一次性取次外圈圆环上的多晶硅棒,依次从外到里,一圈圈地取出所有多晶硅棒。取棒装置是由壁、空腔组成;取棒装置下部还设置有可以支撑断裂后的多晶硅棒的接触件。降低了在转移过程中多晶硅棒被污染的风险;使用本发明,大大简化了生产工艺,减少了转移多晶硅棒所需时间,降低了多晶硅生产周期;同时解决了操作工容易被多晶硅棒刮伤的危险。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-09

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 28/14 授权公告日:20120725 终止日期:20180822 申请日:20080822

    专利权的终止

  • 2012-07-25

    授权

    授权

  • 2012-07-25

    授权

    授权

  • 2011-04-20

    专利申请权的转移 IPC(主分类):C30B28/14 变更前: 变更后: 登记生效日:20110311 申请日:20080822

    专利申请权、专利权的转移

  • 2011-04-20

    专利申请权的转移 IPC(主分类):C30B 28/14 变更前: 变更后: 登记生效日:20110311 申请日:20080822

    专利申请权、专利权的转移

  • 2010-03-24

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2010-03-24

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2010-01-13

    公开

    公开

  • 2010-01-13

    公开

    公开

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