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公开/公告号CN102176436B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-08-29
原文格式PDF
申请/专利权人 北京科技大学;
申请/专利号CN201110065272.6
发明设计人 何新波;杨振亮;吴茂;刘荣军;任淑彬;曲选辉;
申请日2011-03-17
分类号H01L23/29(20060101);H01L21/56(20060101);
代理机构北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人朱元萍
地址 100083 北京市海淀区学院路30号
入库时间 2022-08-23 09:10:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-08-29
授权
2011-11-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/29 申请日:20110317
实质审查的生效
2011-09-07
公开
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