公开/公告号RU2499324C2
专利类型
公开/公告日2013-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 FEDERALNOE GOSUDARSTVENNOE AVTONOMNOE OBRAZOVATELNOE UCHREZHDENIE VYSSHEGO PROFESSIONALNOGO OBRAZOVANIJA SEVERO-KAVKAZSKIJ FEDERALNYJ UNIVERSITET;UCHREZHDENIE ROSSIJSKOJ AKADEMII NAUK JUZHNYJ NAUCHNYJ TSENTR RAN;OBSHCHESTVO S OGRANICHENNOJ OTVETSTVENNOSTJU NAUCHNO-PROIZVODSTVENNAJA FIRMA EHPIKRIST;
申请/专利号RU20110140888
申请日2011-10-07
分类号H01L21/205;C23C28/00;C30B25/00;C23C16/32;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 15:38:48