首页> 中国专利> 通过处理印模表面在基底上形成功能性材料的图案的方法

通过处理印模表面在基底上形成功能性材料的图案的方法

摘要

本发明提供了一种在基底上形成功能性材料的图案的方法。所述方法使用具有浮雕结构和至少10兆帕的弹性模量的弹性印模,所述浮雕结构具有凸起表面。对印模的至少凸起表面进行处理,处理方法是使印模暴露于热、辐射、电子、带电气流、化学流体、化学蒸汽、以及它们的组合以增强所述表面的润湿性。将功能性材料与液体的组合物施加到浮雕结构上,并移除所述液体以便在凸起表面上形成薄膜。弹性印模将功能性材料从所述凸起表面转移到基底上,从而在基底上形成功能性材料的图案。所述方法适于制造用于电子器件和组件的微电路。

著录项

  • 公开/公告号CN101627337B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-09-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 E.I.内穆尔杜邦公司;

    申请/专利号CN200880007421.X

  • 申请日2008-03-20

  • 分类号G03F7/00(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人朱黎明

  • 地址 美国特拉华州

  • 入库时间 2022-08-23 09:10:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-05-13

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/00 授权公告日:20120905 终止日期:20140320 申请日:20080320

    专利权的终止

  • 2012-09-05

    授权

    授权

  • 2010-05-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20080320

    实质审查的生效

  • 2010-01-13

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号