公开/公告号CN101627337B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-09-05
原文格式PDF
申请/专利权人 E.I.内穆尔杜邦公司;
申请/专利号CN200880007421.X
申请日2008-03-20
分类号G03F7/00(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人朱黎明
地址 美国特拉华州
入库时间 2022-08-23 09:10:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-13
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/00 授权公告日:20120905 终止日期:20140320 申请日:20080320
专利权的终止
2012-09-05
授权
授权
2010-05-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20080320
实质审查的生效
2010-01-13
公开
公开
机译: 通过处理印模的表面,一种在基板上形成功能材料的图案的方法
机译: 用于在发束上形成图案的染发/漂白装置,具有凹口和条以保持基底和模板,以相对于基底和模板将头发固定在两个表面之间,它们形成为单件
机译: 用于光刻的化合物,树脂和方法,光刻的基底膜形成材料,基底膜形成组合物和基底膜,形成抗蚀剂图案的方法,形成电路图案的方法