用于透射电子显微镜和加热元件的微反应器及其制造方法

摘要

一种用在显微镜中的微反应器，包括第一和第二覆盖层(13)，这两个覆盖层对于电子显微镜的电子束(14)来说至少是部分透明的，并且彼此延伸一段共有距离，在该二者之间围成腔室(15)，并且其中，设置有用于穿过腔室馈送流体的入口(4)和出口(5)，并且其中，设置有加热装置(8)，用于加热腔室和/或其中提供的元件。