用于检测裸片背面缺陷的裸片缺陷检测系统及其使用方法

摘要

本发明公开了一种用于检测裸片背面缺陷的裸片缺陷检测系统及其使用方法，其中该系统包括：一晶片定位模块、一裸片图像提取模块、一裸片吸取模块、一裸片缺陷分析模块、一裸片分类模块及一控制模块。裸片图像提取模块设置于晶片定位模块的一侧，以用于提取每一个裸片的图像。裸片吸取模块设置于晶片定位模块及裸片图像提取模块的上方，以用于依序吸取位于晶片定位模块上的每一个裸片到裸片图像提取模块的上方来提取每一个裸片的背面图像。裸片缺陷分析模块电性连接于裸片图像提取模块，以用于根据所提取到的每一个裸片的背面图像来判断每一个裸片是否通过检测标准。本发明可作为改进制作过程的参考。