谐波法微/纳米薄膜热物性测试方法

摘要

本发明公开了一种谐波法微/纳米薄膜热物性测试方法，该方法利用直接沉积在待测薄膜/衬底试样结构上的微型金属探测器探测薄膜结构各层热物性参数。测试时，薄膜/衬底试样结构平行放置于恒温真空腔的内腔底；温度调节系统的热电偶一端插于内腔中，另一端电连接温度控制器，TEC加热/冷却器紧贴内腔置于保温层中，并由温度控制器控制启动和停止；抽真空系统外接内腔；谐波测量单元与微型金属探测器电连接，用谐波法测量相关频率范围内微型金属探测器中间段金属带两端的基波电压实部及三次谐波电压实部，根据谐波法测试原理拟合衬底表面单/多层微/纳米薄膜结构的导热系数和热扩散率参数。