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硅结构体及其制造方法和装置及使用硅结构体的太阳电池

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摘要

一种对太阳电池有用的太阳光线反射小的硅结构体。在石英基片的整个表面上淀积厚约1μm的Mo形成下部电极。使用已加有BCl

1. 硅结构体及其制造方法和装置及使用硅结构体的太阳电池 [P] . 中国专利： CN1082254C . 2002.04.03
2. 硅蚀刻液、硅蚀刻方法以及硅鳍片结构体的制造方法 [P] . 中国专利： CN112143500A . 2020-12-29
3. SILICON STRUCTURE BODY, MANUFACTURING DEVICE OF SILICON STRUCTURE BODY AND MANUFACTURING METHOD OF SILICON STRUCTURE BODY [P] . 日本专利： JP2017206401A . 2017-11-24

机译：硅结构体，硅结构体的制造装置以及硅结构体的制造方法
4. METHOD FOR PRODUCING SILICON STRUCTURAL BODY, METHOD FOR PRODUCING METALLIC MOLD FOR MOLDING, METHOD FOR PRODUCING FORMED MEMBER, SILICON STRUCTURAL BODY, INKJET RECORDING HEAD, AND IMAGE FORMING APPARATUS [P] . 日本专利： JP2006045656A . 2006-02-16

机译：硅结构体的制造方法，模制用金属模具的制造方法，模件的制造方法，硅结构体，喷墨记录头和图像形成装置
5. SILICON STRUCTURAL BODY, ITS PRODUCTION AND APPARATUS FOR PRODUCTION THEREFOR AS WELL AS SOLAR BATTERY FORMED BY USING SILICON STRUCTURAL BODY [P] . 日本专利： JPH09118511A . 1997-05-06

机译：硅结构体及其生产，制造方法以及使用硅结构体制成的太阳能电池