晶体硅太阳电池的制造工艺

摘要

晶体硅太阳电池的制造过程是一个半导体的制造过程，融合了物理、化工、机电、自动化控制等多学科的知f识。晶体硅太阳电池的常规制造工艺流程如图1所示，从硅片到电池片，主要包括硅片来料检测、清洗制绒、扩散制结、刻蚀、去磷硅玻璃、镀减反射膜、丝网印刷、烧结和测试分选工序，最终制造成为合格的晶体硅太阳电池片。