法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-10-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 27/20 授权公告日:20120627 终止日期:20130806 申请日:20080806
专利权的终止
2012-06-27
授权
授权
2010-04-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/20 申请日:20080806
实质审查的生效
2010-02-10
公开
公开
机译: 通过扫描探针检测表面特征和电学特征的装置和方法以及由其组成的多探针检测表面特征和电学特征的方法以及观察的装置和方法
机译: 电学测试的探针,其制造方法,电连接装置以及制造方法
机译: 电学检查的探针,制造该探针的方法以及制造半导体装置的方法